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ES-60分子泵机组

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  型号  ES-60  轴承  陶瓷轴承
  抽速  60L/S  振动值≤0.1um
  压缩比  H:1 x 104  冷却方式  风冷
  极限压强(Pa)≤1x 10-6(ISO)  启动时间 ≤2min
≤1x 10-7(CF)  环境温度  5-40℃
  额定转速  70000rpm  重量  22Kg


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