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| 型号 | ES-600 | 轴承 | 机械轴承 |
| 抽速 | 600L/S | 振动值 | ≤0.1um |
| 压缩比 | H：6x 103 | 冷却方式 | 水冷 |
| 极限压强(Pa） | ≤6x 10-6（ISO） | 启动时间 | ≤6min |
| ≤6x 10-7（CF） | 环境温度 | 5-40℃ | |
| 额定转速 | 36000rpm | 重量 | 60Kg |
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